Agilent安捷倫-什么是NEG吸氣劑泵

NEG吸氣劑泵是一種真空技術(shù)中常用的非蒸發(fā)型吸氣設(shè)備。它通過(guò)特殊的吸附劑材料，有效地降低真空系統(tǒng)的氣體壓力。這種泵通常用于維持高真空或超高真空環(huán)境，適用于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、粒子加速器、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。

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以下是 NEG 吸氣劑泵的一些關(guān)鍵特點(diǎn)和工作原理：

Getter效應(yīng)： NEG吸氣劑泵的核心是吸附劑，它的表面具有強(qiáng)烈的getter效應(yīng)。Getter效應(yīng)是指吸附劑表面對(duì)氣體分子有高度親和力，使得氣體能夠被吸附在表面上。

吸附劑材料： NEG吸氣劑泵的吸附劑通常采用一種或多種金屬合金，如鈦合金（Ti-Zr-V）或鋯合金。這些材料在表面上形成一層特殊的薄膜，具有很強(qiáng)的吸附性能。

非蒸發(fā)性： 與一些傳統(tǒng)的真空泵不同，NEG 吸氣劑泵是非蒸發(fā)型的。這意味著吸附劑表面上的氣體不會(huì)再次蒸發(fā)成為氣體，而是固定在吸附劑表面上。

工作溫度： NEG吸氣劑泵通常在室溫至幾百攝氏度的范圍內(nèi)工作。在一些應(yīng)用中，可能需要對(duì)吸附劑進(jìn)行加熱以激活getter效應(yīng)，但并非所有系統(tǒng)都需要。

適用氣體： NEG吸氣劑泵對(duì)多種氣體都具有較好的吸附效果，包括氫氣、氦氣、氮?dú)狻⒀鯕?、水蒸氣等。這使得它在不同應(yīng)用場(chǎng)景中都能夠有效地降低氣體壓力。

真空環(huán)境： NEG吸氣劑泵通常用于高真空和超高真空的環(huán)境，可維持系統(tǒng)在非常低的氣體壓力下運(yùn)行。

應(yīng)用領(lǐng)域： NEG 吸氣劑泵廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、粒子加速器、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，其中需要維持高度純凈的真空環(huán)境。

壽命： NEG吸氣劑泵通常具有較長(zhǎng)的壽命，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地工作，這取決于使用環(huán)境和操作條件。

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