Agilent安捷倫 離子泵如何避免真空系統(tǒng)中的氣體回流

Agilent安捷倫 離子泵是真空系統(tǒng)中常用的一種高真空泵，用于將氣體抽取出真空室。為了避免真空系統(tǒng)中的氣體回流，離子泵采用了一些設(shè)計和操作上的措施，包括：

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中型離子泵 VacIon Plus 55

電子束阻擋器： 離子泵通常配備了電子束阻擋器，位于離子源和真空室之間。電子束阻擋器用于阻止電子束進入離子源，并避免激發(fā)氣體分子，從而減少氣體回流。這有助于提高泵的效率和真空度。

磁場屏蔽： 一些離子泵具有磁場屏蔽結(jié)構(gòu)，用于阻擋離子束和電子束從離子源流向真空室。這有助于減少氣體回流，特別是在真空系統(tǒng)中離子泵關(guān)閉時。

冷陷結(jié)構(gòu)： 有些離子泵在離子源周圍采用冷陷結(jié)構(gòu)，通過將表面冷卻到很低的溫度，使得氣體分子在接觸表面時凝結(jié)并被捕獲。這有助于防止氣體回流，并提高真空度。

動態(tài)操作： 在真空系統(tǒng)操作中，離子泵通常會與其他類型的泵（如分子泵、根據(jù)分子泵等）組合使用，以實現(xiàn)不同壓力范圍的抽取。通過合理選擇和操作其他泵，可以大大地減少氣體回流的風(fēng)險。

實時監(jiān)測： 離子泵系統(tǒng)通常配備真空度和氣體組分的實時監(jiān)測裝置。通過監(jiān)測真空度和氣體成分的變化，可以及時發(fā)現(xiàn)并處理任何氣體回流的情況。

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