超高真空閘閥允許漏率是多少？

問：超高真空閘閥允許漏率是多少？

答：漏率過大對真空系統(tǒng)的影響較大，通常真空閘閥對漏率都有所要求，其中超高真空閘閥的允許漏率為< 1×10^-10 mbar ?/sec。

超高真空閘閥

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