什么是真空漏率？

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所謂真空漏率是指相對負壓封閉空間進入氣體的速率。真空閘閥在出廠前需要對漏率進行檢測，查看漏氣率是否符合要求。

通常漏氣可分為實漏和虛漏。

實漏：氣體通過系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側的現象。

虛漏：相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發(fā)、氣體通過器壁的滲透及系統(tǒng)內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現象。氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。

而真空技術中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。

特殊真空閘閥

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