泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案（一）：鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案

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本文介紹采用鈦合金制造CF法蘭、鋁合金制造法蘭頸部的方案。鈦合金法蘭滿足硬度要求的同時(shí)，鋁合金頸部便于與鋁合金腔體進(jìn)行焊接。由于鈦和鋁的磁性較弱，使用這兩種材料制成的組件是實(shí)現(xiàn)無磁性腔體的選擇。

麥迪森科技提供的鈦與鋁組合可旋轉(zhuǎn)法蘭，具有通孔和螺紋孔兩種形式，可通過螺絲固定，提供足夠的靈活性。此外，旋轉(zhuǎn)法蘭的外部零件可選其他形狀，以便在需要時(shí)使用鏈型夾具，從而縮短操作時(shí)間，這通常在輻射環(huán)境中尤為重要。

在高真空或超高真空環(huán)境中，使用鈦和鋁合金制成的組件具有以下優(yōu)勢：

1.低漏氣率：鈦和鋁的漏氣速率均較低，這對于高真空和超高真空（UHV）系統(tǒng)至關(guān)重要。使用這些材料制成的組件可減少污染，維持更清潔的真空環(huán)境。

2.高強(qiáng)度與耐用性：鈦金屬具有優(yōu)異的強(qiáng)度重量比和耐腐蝕性，能夠承受高真空環(huán)境中的應(yīng)力和機(jī)械負(fù)載，是制造真空組件的理想選擇。

3.兼容UHV環(huán)境：鈦金屬具有較低的蒸氣壓，并且與腔體內(nèi)殘余氣體的反應(yīng)性較小，因而能夠兼容UHV環(huán)境，這對于維持UHV系統(tǒng)的完整性尤為關(guān)鍵。

4.使用壽命長：與易放氣或腐蝕的材料相比，鈦制組件在高真空和UHV系統(tǒng)中的使用壽命更長。同時(shí)，鋁合金相比不銹鋼價(jià)格較低，長期使用下，鈦和鋁制組件的成本效益更高。

5.生物相容性：鈦的生物相容性在某些科學(xué)和醫(yī)學(xué)應(yīng)用中非常有價(jià)值，可以用于在UHV環(huán)境中與生物材料相關(guān)的表面科學(xué)研究中。

鈦材料的先進(jìn)表面工程

來源：https://doi.org/10.1016/j.bioactmat.2023.03.006

6.功能多樣性：鈦的功能多樣性使其在真空腔體、實(shí)驗(yàn)裝置以及各種UHV研究設(shè)備領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。

鈦制真空腔體

此外，由鈦和鋁合金制造的法蘭系統(tǒng)可以直接裝配在鋁制腔體上，并可與市場上現(xiàn)有的所有CF密封圈兼容。

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