真空饋通Feedthrough出現(xiàn)泄露怎么辦

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如果真空饋通Feedthrough出現(xiàn)泄露，需要及時(shí)檢查并修復(fù)泄漏源。以下是一些可能導(dǎo)致真空饋通泄漏的原因和應(yīng)對方法：

接頭密封不良：檢查接頭處是否有松動(dòng)或損壞，并重新安裝和密封。

O形密封圈老化或損壞：更換O形密封圈并確保密封圈符合規(guī)格。

真空管道松動(dòng)或損壞：檢查真空管道是否有松動(dòng)或損壞，如有必要，更換或重新緊固管道。

氣壓或真空泵故障：檢查氣壓或真空泵是否正常工作，如有必要，修復(fù)或更換。

真空管道內(nèi)部雜質(zhì)：清理真空管道內(nèi)部的雜質(zhì)。

在修復(fù)完潛在的泄漏源之后，應(yīng)該重新測試并確認(rèn)真空度是否恢復(fù)正常。

Sub-D真空饋通

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